真空泵是光伏设备的关键部件之一，主要用于建立、改善、维持真空系统。目前真空泵主要用于PERC制程，随着N型电池技术成熟，HJT和TOPCon预期成为未来扩产主力，进而带来新一波真空泵需求。

　　全球光伏真空泵主要生产企业包括Atlas（收购了英国Edwards，全球龙头）、Pfeiffer Vacuum（德国）、Ebara（日本）、 Kashiyama（日本）等，其中Atlas、Pfeiffer、Ebara为上市公司，国内厂商主要有汉钟精机、中科仪。