近年来， 伴随着我国经济持续高速发展，真空泵相关下游应用行业保持快速增长势头，同时在真空泵应用领域不断拓展等因素的共同拉动下，我国真空泵行业实现了持续稳定地快速的发展。

　　真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。根据国家统计局制定的《国民经济行业分类与代码》，中国把真空泵制造归入通用设备制造(国统局代码34)中的泵、阀门、压缩机及类似机械的制造(C344)，属于泵及线)。

　　按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体捕集泵和气体传输泵。其广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。常用真空泵包括干式螺杆真空泵、水环泵、往复泵、滑阀泵、旋片泵、罗茨泵和扩散泵等，这些泵是我国国民经济各行业应用真空工艺过程中必不可少的主力泵种。

　　从真空泵产业链来看，上游是关键零部件主要包括导管、保温罩和加热器;下游真空泵被广泛应用于制药、化工、食品、电子等行业。

　　随着真空应用的发展，真空泵的种类已发展了很多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。随着真空技术在生产和科学研究领域中对其应用压强范围的要求越来越宽，大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求，由于真空应用部门所涉及的工作压力的范围很宽，因此任何一种类型的真空泵都不可能完全适用于所有的工作压力范围，只能根据不同的工作压力范围和不同的工作要求，使用不同类型的真空泵。为了使用方便和各种真空工艺过程的需要，有时将各种真空泵按其性能要求组合起来，以机组型式应用。

　　全球干式真空泵主要厂商有Atlas Copco、Ebara、Pfeiffer Vacuum、Flowserve、Agilent等，全球前五大厂商共占有大约70%的市场份额。欧洲是全球最大的干式线%的市场份额，之后是北美和日本市场，二者共占有大约20%的份额。

　　从国内外企业的产品布局来看，Edwards作为真空领域绝对的领先者，产品系列最全，各种结构的真空泵均有布局;Ebara以罗茨泵为主;Kashiyama以罗茨泵和螺杆泵为主。反观国内，汉钟精机作为螺杆泵的龙头，真空泵以螺杆式为主，旋片泵也有所布局;中科仪以涡旋泵和罗茨泵为主;中科科仪以分子泵、旋片泵为主。

　　近几年，伴随我国经济持续高速发展，真空泵下游应用行业保持快速增长势头，真空泵应用领域不断拓展，该领域市场空间广阔。目前真空泵已经广泛应用在半导体制造的多个工艺环节中， 包括刻蚀、 镀膜、 扩散等等。为了将制造过程控制在更小的尺寸上，越来越需要以更高的精度和均匀性执行更多的半导体制造过程步骤。为了实现这一点，半导体工艺必须在极度受控的真空环境中运行。随着功能和电路尺寸的减小，半导体制造中的工艺步骤数量将继续增加，从而导致真空设备需求的增加。此外，小型化还需要新的制造技术，如多模和EUV光刻技术，这将进一步推动半导体制造商采用真空系统。

　　除半导体产业以外，制药、化工、食品行业对真空泵的需求较大，以往使用油封式机械泵会产生油污染。近年来国家对环境保护高度重视，由于干式真空泵能够显著减少油污染，且使用干式真空泵可实现溶媒回收提高利用率，因此制药、化工、食品等行业对干式真空泵产生了大量新增以及替代原有存量油封式机械泵的需求。

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